CMS9500,CMS0002,CMS0005,CMS0020,CMS0050,CMS0200,CMS0500,气体质量流量计
CMS9500/0002/0005/0020/0050/0200/0500高可靠性气体质量
流量计,使用了山武公司新近开发的微流量传感器,这种传感器
是感热式流量传感单元。
超小型结构、高精度传感器、高密度集成电路设计技术的结合使
这种仪表具有精度高、测量范围大,且成本低的优点。
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