点击图片查看原图横河电机最新推出的氧分析仪OX400，是公司在该技术的长期经验积累和优秀业绩基础上研发出来的。
低浓度氧化锆氧分析仪OX400的氧化锆传感器中采用了新型薄膜沉积专利技术，在氧化锆元素和铂层间建立了分子联接。这样不仅预防剥离，还可以减小传感器尺寸，确保高速响应和长寿命。
低浓度氧化锆氧分析仪OX400可用于控制和监视各种半导体应用，并控制环境，空气泄漏入惰性气体及其他过程。
用于半导体扩散炉和烘干炉，以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制
用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度，以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量
测量氧气浓度，防止粉尘运输中粉尘爆炸
特性
使用寿命长，响应速度快
由于使用了横河电机的新型薄膜沉积专利技术，传感器的寿命周期提高了三倍
圆柱形传感器设计便于置换被测气体，确保高速响应
高性能和高可靠性
即使在低氧浓度下，仍具有极高的精度和线性
在不同应用中，可选择泵式或抽提采样方式
内置功能和多种自诊断功能
自带多选择器，自动量程，特定量程以及泵开/关功能
提供多种自诊断功能，以检测故障，如加热器温度错误，温度传感器断偶和传感器电阻值错误
出众的维护性
可现场更换传感器
小型轻量，易于安装
规格
测量对象 惰性气体中的氧气浓度
(易燃性气体、二氧化硅、腐蚀性气体或液体(包括水蒸气)除外)
测量系统 氧化锆系统
采样方法 泵式，抽提式等
样气条件 流速: 200 ± 25ml/min(仅用于传感器)
温度: 0~50℃(无结露)
湿度: 无结露
压力: 0~300PaG
最大容许压力: 30kPaG
测量量程 0-10ppm O2至0-100vol% O2
输出量程
自动: 0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，0-100%(默认)其他: 可设为0- 0ppm，0- 00ppm，0-000 ppm，0- %，0- 0%，0-100%，1~9的整数
固定: 设为0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，或0-100%
部分: 可设置下限值或上限值
模拟输出 2路输出，
一次: 4～20mA DC(最大负载电阻: 550Ω)
二次: 可选为0~1，0~5，0~10V DC(负载电阻: 10kΩ或更大)
接点输出
报警输出2点: 错误接点，O2浓度报警接点
指定量程范围输出1点: 接点输出
多选择器(选配件): 流路切换接点输出和测量中流路信息接点输出
接点输入 1点: 采样气体吸入泵的远程ON/OFF
自诊断
错误(故障): 传感器错误，加热器温度错误，温度传感器断开，设备温度错误，CPU错误，FAN停止
报警(警告): 加热器不稳定，传感器错误，电动势异常，非对称电压错误错误，标定错误，传感器电阻
错误，O2浓度上/下限，超限
串口通信 RS-232，38400 bps标定方法 (1)3点: 10ppm，1000ppm，空气，(2)2点: 可设定为零点气和量程气标定，(3)1点，(4)
空气标定
暖机时间 20分以内
电源 100 - 120V AC/220 - 240V AC，50/60Hz
功耗 100～120V AC，200VA 最大，220～240V AC，400 VA 最大
尺寸 213 (W) x 132 (H) x 约375 (D) mm
质量 约5kg
管线连接 气体入口: Rc1/4或1/4NPT内螺纹
气体出口: Rc1/4或1/4NPT内螺纹
环境条件
安装条件: 室内，盘装或壁装，非易燃区域
环境温度: 0～40℃，无结露
环境湿度: 5～85%RH
储存温度: -5～50℃
符合的安全标准
和EMC标准
安全标准: 61010-1:2001
EMC: EN 61326-1 Class A，Table 2(用于工业现场) EN 61326-2-3，EN 61000-3-2，EN 61000-3-3
特性
重复性 ±1%F.S.(10，100，1000 ppm，1%，10%或100%)
线性 ±2%F.S.
±3%F.S.(0~100ppm或更低)
响应时间 90%响应
10秒内(0~1%或更高)
30秒内(小于0~1%)
漂移 ±2%F.S./周
