电子式高真空球阀采用节能设计，体积小。
主要性能指标：
适用范围：110-6Pa～1.2105Pa
110-5Pa～1.2105Pa（氟胶圈密封）
打开时的压差：1.2105 Pa任意方向
阀体和阀座漏率：1.310-7PaLs-1
建议首次维修前循环次数：200，000次
阀体烘烤温度：150
安装位置：任意
阀体、阀盖、阀杆：不锈钢
密封件：四氟乙烯、丁腈橡胶、氟橡胶、PPL
电源：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W（特殊规格可定做）
压缩空气（只适用于气动）：0.4～0.7MPa
阀门开启和关闭时间：18s
阀门位置指示：带有启闭位置指示开关（磁性开关）
法兰标准 GB4